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编号 |
应用场地 |
可选装置 |
功能 |
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① |
新风入口处 |
侧开式净化机组 |
去除外部环境进入洁净室的AMC |
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② |
空调机组内 |
HJ气相过滤器 |
去除外部环境和回风进入洁净室的AMC |
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③ |
FFU处 |
HJ气相过滤器 |
去除送风过程进入洁净室的AMC |
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④ |
洁净室内 |
内循环净化装置 |
去除洁净室内产生的AMC |
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⑤ |
回风段 |
HJ气相过滤器/侧开式净化机组 |
去除洁净室回风段含有的AMC |
